平行光曝光灯
超高压短弧灯(平行光灯)高功率高功率的超高压短弧灯主要由2kw至10kw，有效地活用了365nm~436nm这一范围的波长。这类灯型乃主要应用于pcb、lcd及pdp等工业，能有效地应对基板的大型化及型材的细微化等需求。低功率我们有从100w至1000w的低功率超高压短弧灯。这种灯种有效地应用了波长为deepuv~436nm的光谱，被广泛地应用为半导体工业的点光源。pc-5000mf pc-5000csn pc-5000mfn　pc-5002rc pc-5000cbt pc-5001mfndpc-500。
平行光曝光灯
dnk-5kw(用于dai nippon kaken曝光机)
ush-1000ks和ush-1005d，
bmo-1002df,
kxm2000dk,
kxm2001dk,
ush-2004mb,
hsa2002-30341,
ahd3000mfn,
dnk-3.5kw(用于dai nippon kaken曝光机)
pc-3500sg(用于hakuto曝光机)
ush-3500mr,
ush-3501fn,
ush-3502dk,
ush-3502ma,
kxm3511dk,
美国orc曝光机，(pc-5000mf用于欧特玛曝光机)
pc-5001csn(用于志圣曝光机)
平行光曝光灯
pc-4500cil曝光灯、日本ushio平行光曝光灯。短弧***氙灯,又名平行光曝光灯.功率主要有5000w,3000w,8000w等,用途最广泛的是5000w平行曝光灯.球形高压短弧***氙灯
英文名称是mercury xenon short arc lamps
该灯光谱范围主要在325nm~450nm之间，是在高压***蒸气中产生电弧发光的短弧灯，此类灯管具有高 辐射 、多线光谱 、在紫外光区有较高的辐射能量 、寿命长、高光学质量等优点，适用于全自动曝光系
统和半导体生产光刻。
主要规格型号：日本ushio系列型号有:pc-5001cbt,pc-5001csn,pc-5001cbtl,pc-5001csnl,pc-5002rc,pc-5002ad,pc- 5001ta;pc-5000mf,pc-5000sg、pc-3500sg；、同时还有点光源平行光曝光灯：型号有：ｓｕｖ-1003ｆａ；ｕｖｌ-3500ｓｉ；ｕｓｈ-5000ｍｇ，uxm-5000ta、ush-3502ma，ush-2004mb、hsa－2002－30341
美国orc型号有:hvf-5001cbt/r,hvf-5001csn/r,hvf-5000mfn/r,hvf-5002ad/r。

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